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pvd制程工艺及设备

来源:化工产品网-原创 发布时间:2023-10-04 00:54:26
pvd制程工艺及设备

PVD制程是一种物理气相沉积技术,PVD的全称是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition),它是一种通过物理手段将材料沉积到基板表面上的工艺。PVD制程是利用高能离子轰击材料表面,使其蒸发并沉积到基板上形成薄膜的过程。PVD制程具有高质量、高纯度、高可靠性、高均匀性、高精度等特点,适用于多种材料的沉积,包括金属、合金、氧化物、氮化物、硅化物等。

PVD制程的设备主要包括真空室、离子源、基板支架、电源、气体供应系统、控制系统等。真空室是进行PVD制程的核心部件,其目的是提供高真空环境,避免材料与空气发生反应,保证沉积的质量与稳定性。离子源是将材料离子化的装置,它将材料加热到高温,使其蒸发并形成离子,然后通过电场加速和聚焦,将离子轰击到基板表面上。基板支架是将基板固定在真空室内的装置,它可以控制基板的位置和角度,使沉积的薄膜具有所需的形状和厚度。电源是提供加热、加速、聚焦等功能的设备,它可以控制离子源和基板支架的运动。气体供应系统是提供惰性气体和反应气体的设备,惰性气体主要用于抽真空和稀释反应气体,反应气体主要用于控制沉积的化学成分和结构。控制系统是用于监控和控制PVD制程的设备,它可以实时监测温度、压力、流量、电压、电流等参数,调节离子源、基板支架、电源、气体供应系统等设备的工作状态,保证沉积的质量和稳定性。

总之,PVD制程是一种高精度、高可靠性的沉积技术,具有广泛的应用前景,在微电子、光电子、材料科学等领域有着重要的地位和作用。


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